テルル酸化物を含む超薄膜

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200926
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043221
出願日： 2002年07月10日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】多大なエネルギーを要することなく、低コストで簡便に優れた物性を有するテルル酸化物系の超薄膜を提供する。【解決手段】固体表面に有機ジテルリド化合物を用いて作製されるテルル酸化物を含む超薄膜である。この有機テルル化合物としては、脂肪族ジテルリドまたは芳香族ジテルリドを用いることが好ましい。このテルル酸化物系超薄膜を用いると、電気材料や光学材料等に用いられる各種部品の軽量化、省エネ化及び高密度化が可能である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

固体表面に有機ジテルリド化合物を用いて作製されるテルル酸化物を含む超薄膜。

IPC (2件)：

C01B19/00 , H01L21/316

FI (2件)：

C01B19/00 E , H01L21/316 C

Fターム (4件)：

5F058BC03 , 5F058BF46 , 5F058BH20 , 5F058BJ01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭50-046317
特開平2-165990

審査官引用 (3件)

特開昭50-046317
特開昭50-046317
特開平2-165990

前のページに戻る