特許
J-GLOBAL ID:200903078031197141
検査装置および検査用レンズ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-056829
公開番号(公開出願番号):特開2001-324451
出願日: 2001年03月01日
公開日(公表日): 2001年11月22日
要約:
【要約】【課題】 側面を有する検査対象物に対して高い処理能力を有する検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置100は、正面610と側面604とを有する検査対象物600を照明するリング照明装置300と、検査対象物600およびリング照明装置300の上方に設置され、リング照明装置300の照明により照明された側面604からの反射光を屈折させることにより、側面604からの反射光の光路を垂直な方向へ変更するレンズ200と、中空部206を通じて正面610からの反射光およびレンズ200の底面202から出力された側面604の全周からの反射光を撮像する撮像カメラ400と、撮像カメラ400により撮像された反射光の映像信号を画像処理する画像処理装置とを含む。
請求項(抜粋):
正面と、前記正面に交差する方向の側面とを有する検査対象物の表面を検査する検査装置であって、前記検査対象物の前記正面が予め定められた方向を向くように前記検査対象物が載置される載置台と、前記載置台に載置された前記検査対象物の前記側面を照明する照明装置と、前記載置台の位置と予め定められた関係にある位置に設置され、前記照明装置の照明により照明された前記側面からの反射光を屈折させることにより、前記側面からの反射光の光路を所定の方向へ変更するための光路変更手段と、前記光路変更手段から出力された前記側面からの反射光を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段に接続され、前記撮像手段により撮像された前記側面からの反射光の映像信号を画像処理するための画像処理手段とを含む、検査装置。
IPC (6件):
G01N 21/88
, G02B 3/00
, G02B 5/30
, G03B 15/00
, G03B 15/02
, H04N 5/225
FI (9件):
G01N 21/88 Z
, G02B 3/00 Z
, G02B 5/30
, G03B 15/00 T
, G03B 15/02 C
, G03B 15/02 R
, G03B 15/02 S
, H04N 5/225 C
, H04N 5/225 D
引用特許:
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