特許
J-GLOBAL ID：200903078044142109
ダイボンダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
江原 省吾
, 田中 秀佳
, 白石 吉之
, 城村 邦彦
, 熊野 剛
, 山根 広昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-291455
公開番号（公開出願番号）：特開2007-103667
出願日： 2005年10月04日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】 ダイマウント工程のタクトタイム短縮を容易にしたダイボンダ。【解決手段】 上下動するコレット4でダイ3を基板5上にマウントするダイボンダで、マウント位置にある下降前のコレット4と基板5の間のコレット通路Nの側方にミラー構造体10と、一対のダイ認識カメラ21a、21b、一対の基板認識カメラ22a、22bを設置する。ミラー構造体10は、透明板11の上下両面にミラー12の反射膜12p、12qを形成する。ダイ認識カメラ21a、21bでダイ3の下面をステレオ視で撮像し、基板認識カメラ22a、22bで基板5のアイランド位置をステレオ視で撮像する。各撮像された画像を処理することで、基板5とダイ3の相対位置関係を三次元で検出し、コレット4を位置補正して下降させてダイ3を基板5にマウントする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ダイを保持したコレットをマウント対象の基板に向け下降させてダイを基板上にマウントするダイボンダにおいて、
下降前の前記コレットと前記基板間のコレット上下動用コレット通路の側方に設置したミラーと、前記コレット通路の側方に互いに離隔させて設置され、前記ミラーを介して前記コレットに吸着された前記ダイの下面をステレオ視で撮像する一対のダイ認識カメラと、前記コレット通路の側方に互いに離隔させて設置され、前記ミラーを介して前記基板の前記ダイがマウントされる部所をステレオ視で撮像する一対の基板認識カメラを具備し、
前記ダイ認識カメラと基板認識カメラからの認識画像信号に基づいて前記コレットを位置補正することを特徴とするダイボンダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
5E313AA03
, 5E313AA11
, 5E313CC04
, 5E313DD03
, 5E313DD13
, 5E313EE02
, 5E313EE03
, 5E313EE24
, 5E313FF24
, 5E313FF33
, 5E313FF34
, 5E313FF40
, 5E313FG02
, 5E313FG10
, 5F044PP15
, 5F044PP17
