特許

J-GLOBAL ID：200903078082320517

電気的検査装置

発明者： 井上 和夫
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-342245
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160396
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 BGAなどの半導体素子等に代表される被検査物の電気的性能を検査する際に、被検査物の電極と電気的検査装置の導電部との位置合わせを高精度に行うことが可能な電気的検査装置を提供すること。【解決手段】 突起した端子電極を有する電気的検査を行う被検査物と、該端子電極に対応した位置に開口部を設け位置決めガイド部を有する絶縁シートを構成要素として有し、該被検査物の該端子電極を絶縁シートの開口部に嵌合することにより位置決めされていることを特徴とする電気的検査装置。

請求項（抜粋）：

突起した端子電極を有する電気的検査を行う被検査物と、該端子電極に対応した位置に開口部を設け位置決めガイド部を有する絶縁シートを構成要素として有し、該被検査物の該端子電極を絶縁シートの開口部に嵌合することにより位置決めされていることを特徴とする電気的検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体試験装置及びこれを利用した試験方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-318269   出願人：富士通株式会社
• 電子デバイスの試験方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-341045   出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー