特許

J-GLOBAL ID：200903078094854290

クリーンルーム用床パネルおよびデバイス製造方法

発明者： 涌井 伸二 ,  柳澤 通雄 ,  間山 武彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329615
公開番号（公開出願番号）：特開2001-146812
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム用床パネルの振動を低減させる。【解決手段】 床パネル4を三角形状とし、その頂角近傍の3点において受け座2’で支持するようにする。空調用貫通孔のうちの一部に制振材を充填する。隣接する床パネル同士が制振材を介して結合しまたは接するように、側面に前記制振材を設ける。受け座に、床の面方向に突起部を移動させて、隣接する床パネルを相互に引き付けまたは遠ざけることによって、隣接床パネル間を結合する押圧機構を設ける。隣接する床パネルを相互に連結するための適度なばね性と粘性とを有する固定部材を設ける。床パネルの貫通孔を通して巻かれた糸状の炭素繊維による巻線を設ける。シート状の炭素繊維または高分子圧電フィルムを床パネルの裏面に貼り付ける。あるいは床パネルの裏面または床パネルを支持する梁に制振手段を設ける。

請求項（抜粋）：

三角形状を有し、その頂角近傍の3点において支持されることを特徴とするクリーンルーム用床パネル。

IPC (8件)：

E04B 5/43 ,  E04B 1/98 ,  E04F 15/18 601 ,  E04F 15/18 602 ,  E04F 15/18 ,  E04H 5/02 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

E04B 5/43 H ,  E04B 1/98 G ,  E04F 15/18 601 L ,  E04F 15/18 602 Z ,  E04F 15/18 602 H ,  E04H 5/02 B ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (10件)：

2E001DG01 ,  2E001DG03 ,  2E001FA11 ,  2E001GA07 ,  2E001GA12 ,  2E001GA23 ,  2E001GA29 ,  2E001HF16 ,  5F046AA23 ,  5F046DA09