感光性ペースト

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022794
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218508
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを安定して提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とアゾール構造を持つ化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性有機成分とアゾール構造を持つ化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 , C03C 3/089 , C03C 8/02 , C03C 8/14 , G02F 1/1333 , H05K 1/09

FI (6件)：

G03F 7/004 501 , C03C 3/089 , C03C 8/02 , C03C 8/14 , G02F 1/1333 , H05K 1/09 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

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