特許
J-GLOBAL ID:200903078153776886
感光性ペースト
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-022794
公開番号(公開出願番号):特開平9-218508
出願日: 1996年02月08日
公開日(公表日): 1997年08月19日
要約:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを安定して提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とアゾール構造を持つ化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。
請求項(抜粋):
無機微粒子と感光性有機成分とアゾール構造を持つ化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。
IPC (6件):
G03F 7/004 501
, C03C 3/089
, C03C 8/02
, C03C 8/14
, G02F 1/1333
, H05K 1/09
FI (6件):
G03F 7/004 501
, C03C 3/089
, C03C 8/02
, C03C 8/14
, G02F 1/1333
, H05K 1/09 D
引用特許:
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