特許
J-GLOBAL ID:200903078153790340
光導波路形成用感光性樹脂組成物、光導波路及び光導波路パターンの形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-235944
公開番号(公開出願番号):特開2007-052120
出願日: 2005年08月16日
公開日(公表日): 2007年03月01日
要約:
【課題】 伝送損失が低く、また導波路パターンを形状精度が良くかつ低コストで作製可能な光導波路形成用感光性樹脂組成物、光導波路、及び光導波路パターンの形成方法の提供。【解決手段】 下記一般式(1)で表される繰返し構造単位を一種以上含む重合体と光酸発生剤を少なくとも含有する光導波路形成用感光性樹脂組成物により解決できる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表される繰返し構造単位を一種以上含む重合体と光酸発生剤を少なくとも含有する光導波路形成用感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/038
, G02B 6/12
, G02B 6/13
, G03F 7/004
, C08F 20/58
FI (6件):
G03F7/038 601
, G02B6/12 N
, G02B6/12 M
, G03F7/004 501
, G03F7/038 503
, C08F20/58
Fターム (29件):
2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AA10
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BD23
, 2H025BE00
, 2H025CB30
, 2H025CB45
, 2H025CC08
, 2H025CC17
, 2H147EA13C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147FA17
, 2H147FB04
, 2H147FE02
, 2H147FF06
, 2H147FF09
, 4J100AL08Q
, 4J100AM21P
, 4J100BA03P
, 4J100BC43P
, 4J100BC54Q
, 4J100CA04
, 4J100DA01
, 4J100DA04
, 4J100JA37
引用特許:
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