特許
J-GLOBAL ID:200903078176685845
窒化珪素質焼結体及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-273299
公開番号(公開出願番号):特開2001-089244
出願日: 1999年09月27日
公開日(公表日): 2001年04月03日
要約:
【要約】【課題】室温から1000°C付近の高温域において、優れた強度を有するとともに、高靭性で、疲労寿命の長い窒化珪素質焼結体とその製造方法を提供する。【解決手段】β型窒化珪素結晶相と、希土類元素、珪素、アルミニウム、酸素及び窒素とからなる粒界結晶相並びに粒界非晶質相よりなり、10μm以下のβ型窒化珪素結晶相が面積比率で70〜90%、40〜100μmのβ型窒化珪素結晶を10〜30%含み、かつ窒化珪素結晶相間の非晶質相の厚みが2nm以下で、かつ前記β型窒化珪素結晶相と前記粒界結晶相間の非晶質相の厚みが5nm以下とする。
請求項(抜粋):
窒化珪素を主成分とし、希土類元素が酸化物換算で2〜10重量%、アルミニウムが酸化物換算で2〜5重量%、さらに過剰酸素が酸化珪素換算で0.5〜5重量%で、かつ前記希土類元素の酸化物換算量に対するアルミニウムの酸化物換算量の比が0.2〜0.7、前記希土類元素の酸化物換算量に対する過剰酸素の酸化珪素換算量の比が0.2〜0.7となる窒化珪素質焼結体において、β型窒化珪素結晶相と、希土類元素、珪素、アルミニウム、酸素及び窒素とからなる粒界結晶相並びに粒界非晶質相よりなり、長径が10μm以下のβ型窒化珪素結晶粒子が面積比率で70〜90%、長径が40〜100μmのβ型窒化珪素結晶粒子を10〜30%含み、かつ窒化珪素結晶相間の非晶質相の厚みが2nm以下で、かつ前記β型窒化珪素結晶相と前記粒界結晶相間の非晶質相の厚みが5nm以下であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (4件):
C04B 35/584
, F01L 3/02
, F01D 25/00
, F16J 1/16
FI (4件):
F01L 3/02 J
, F01D 25/00 L
, F16J 1/16
, C04B 35/58 102 D
Fターム (31件):
3J044AA01
, 3J044AA08
, 3J044BA09
, 3J044BC19
, 3J044BC20
, 3J044DA09
, 3J044EA10
, 4G001BA03
, 4G001BA04
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA32
, 4G001BA62
, 4G001BA73
, 4G001BB03
, 4G001BB04
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB32
, 4G001BB73
, 4G001BC12
, 4G001BC13
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BC55
, 4G001BC57
, 4G001BD14
, 4G001BD16
, 4G001BE03
, 4G001BE22
, 4G001BE26
引用特許:
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