特許
J-GLOBAL ID：200903078176975665
研磨方法及び研磨装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-101547
公開番号（公開出願番号）：特開平9-285955
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】研磨加工プロセスにおいて、使用中の研磨パッドの研磨性能をリアルタイムに自動測定する。【解決手段】本研磨装置が備えるセンサ9は、研磨加工中、研磨定盤7に貼付された研磨パッド6の表面6aで反射した光の光量を測定する。そして、情報処理装置11は、センサ9の出力から算出した研磨パッド6の反射率と、所定の関数とを用いて、研磨パッド6の研磨能率を算出する。そして、研磨パッド6の研磨能率の変化に応じて、研磨加工の進行に伴って推移する研磨パッド9の研磨性能を評価する。尚、こうした評価結果は、研磨パッドに対するドレッシング処理の実行タイミングの決定や、加工物の研磨量の算出等に利用される。
請求項（抜粋）：
加工物の表面を研磨する研磨方法であって、研磨材で前記加工物の表面を研磨する研磨ステップと、前記研磨材の反射率を測定するステップと、前記測定した前記研磨材の反射率に基づいて研磨性能に関連する前記研磨材の特性を定量化するステップと、前記定量化した前記研磨材の特性が所定の基準よりも劣ったか否かを判定するステップとからなる、繰返し実行される測定ステップと、前記測定ステップで前記研磨材の特性が前記所定の基準よりも劣ったと判定された場合に、前記研磨材にドレッシング処理を施すドレッシングステップとを有することを特徴とする研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
, H01L 21/304
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 321 E
, H01L 21/304 321 M
