特許
J-GLOBAL ID：200903078196158817
誘電体膜の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-272229
公開番号（公開出願番号）：特開2007-084852
出願日： 2005年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】 電気泳動法を利用した方法により基材の表面上に誘電体膜を形成した場合でも基材端部における誘電体膜の厚膜化を抑制することができる誘電体膜の形成方法を提供する。【解決手段】 誘電体粒子を含む溶媒中に浸漬した基材と電極との間に電圧を印加することによって基材の表面上に誘電体粒子を堆積して誘電体膜を形成する方法であって、誘電体膜の形成期間には、基材に誘電体粒子を堆積させる極性となる第1電圧が基材と電極との間に発生する第1期間と、基材に誘電体粒子を堆積させる極性とは逆極性となる第2電圧が基材と電極との間に発生する第2期間と、が含まれる誘電体膜の形成方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
誘電体粒子を含む溶媒中に浸漬した基材と電極との間に電圧を印加することによって前記基材の表面上に前記誘電体粒子を堆積して誘電体膜を形成する方法であって、
前記誘電体膜の形成期間には、前記基材に前記誘電体粒子を堆積させる極性となる第1電圧が前記基材と前記電極との間に発生する第1期間と、前記基材に前記誘電体粒子を堆積させる極性とは逆極性となる第2電圧が前記基材と前記電極との間に発生する第2期間と、が含まれることを特徴とする、誘電体膜の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D13/00 Z
, C25D21/12 A
出願人引用 (1件)
-
ポリアミド酸溶液
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-348161
出願人：アイエステーコーポレーション
審査官引用 (9件)
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