特許

J-GLOBAL ID：200903078276761298

半導体露光装置

発明者： 佐藤 義行 ,  黒木 洋一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150622
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335539
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 エラーが発生した際にオペレータに適切な対処方法をすみやかに伝えて迅速な対応ができるようにする。【構成】 表示手段と、操作者の種類と装置で生じるエラーの種類とに応じた表示データを記憶する記憶手段と、現在設定されている操作者の種類を示す操作者データと装置で生じたエラーの種類を示すエラーデータとに対応する前記表示データを前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示するデータ処理手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

表示手段と、操作者の種類と装置で生じるエラーの種類とに応じた表示データを記憶する記憶手段と、現在設定されている操作者の種類を示す操作者データと装置で生じたエラーの種類を示すエラーデータとに対応する前記表示データを前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示するデータ処理手段とを具備することを特徴とする半導体露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 514 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 自動処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-188468   出願人：株式会社日立製作所