特許
J-GLOBAL ID:200903078324971909

スクリーン印刷装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-046015
公開番号(公開出願番号):特開平11-240130
出願日: 1998年02月26日
公開日(公表日): 1999年09月07日
要約:
【要約】【課題】スクリーン印刷装置を用いて高精細回路パターンを形成しようとしたとき、印刷ペーストの塗布ムラが生じて回路パターンに短絡や断線を発生していた。【解決手段】被印刷体3が載置されるステージ1上に、パターン孔が開孔されたスクリーン版4を配置し、該スクリーン版4上に供給される印刷ペースト5を前記パターン孔を介して被印刷体3に塗布するようにしたスクリーン印刷装置において、前記スクリーン版4上にチャンバー6を配設してスクリーン版4とチャンバー6との間に密閉空間Aを形成し、前記チャンバー6内の圧力を真空ポンプ10等を用いて調整することにより被印刷物3への印刷ペースト5の塗布量を制御するようにスクリーン印刷装置を構成する。
請求項(抜粋):
被印刷体が載置されるステージ上に、パターン孔が開孔されたスクリーン版を配置し、該スクリーン版上に供給される印刷ペーストを前記パターン孔を介して被印刷体に塗布するようにしたスクリーン印刷装置において、前記スクリーン版上にチャンバーを配設してスクリーン版とチャンバーとの間に密閉空間を形成し、前記チャンバー内の圧力を調整することによって被印刷物への印刷ペーストの塗布量を制御するようになしたスクリーン印刷装置。
IPC (3件):
B41F 15/40 ,  B41F 15/08 303 ,  H05K 3/12 610
FI (3件):
B41F 15/40 B ,  B41F 15/08 303 E ,  H05K 3/12 610 N
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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