レーザー用のプレ・イオン化装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川泰男 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-510089
公開番号（公開出願番号）：特表平8-502145
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：

【要約】レーザ(10)のアノード(14)及びカソード(16)を第1の方向に離隔して配置する。これらの部材間の電位差によって放電が生じ、レーザ(10)内の気体(18)をイオン化し、化学的に反応させるとともに、コヒレーント放射を発生させる。誘電体材料からなる第1及び第2チューブ(22)を、前記第1の方向と交差(好ましくは、直交)する第2の方向に、レーザ(10)内に離隔して配置する。アノード(14)、カソード(16)及びチューブ(22)は、前記第1及び第2の方向と交差(好ましくは、直交)する方向に、レーザ(10)内を延在する。チューブ(22)は、アルミニウム以外の金属元素のこん跡量を有する少なくとも純度が99.9パーセントの多結晶酸化アルミニウムセラミックとすることが好ましい。前記チューブ材料と同質(好ましくは、同一)の材料からなるブッシュ(24)を、前記チューブの対向する端部付近で前記チューブ(22)と一体化する。第1導体(30)は、前記チューブ(22)内を延在する。第2導体(32)は、前記チューブの外面と(好ましくは、弾性)接触(好ましくは、線接触)し、前記第1導体(30)及び前記チューブ材料とともにコンデンサを形成する。位置決め部材(36)は、前記弾性部材と関連して動作し、前記チューブ端部付近で前記チューブの外面と移動可能な状態で係合し、前記チューブ(22)と3つの線接触を構成し、前記チューブ(22)を前記キャビティ(12)内に正確に位置決めする。電圧パルスが、各チューブ(22)内の第1導体(30)と、チューブ(22)条の導体(32)との間に印可されると、その結果生じるチューブの外面からのコロナ放電によって、紫外線光が発生し、キャビティ(12)内の気体(18)をプレ・イオン化する。このことによって、アノード(14)とカソード(16)との間に放電が発生した際に、キャビティ (12)内の気体(18)のイオン化を容易にすることができる。

請求項（抜粋）：

絶縁破壊を起こすことなく、容量性コロナ放電を維持することのできる特性を有している絶縁材料からなるチューブと、当該チューブ内に配置され、第1コンデンサ極板を形成するための手段と、前記チューブと係合してチューブ外に配置され、第2コンデンサ極板を形成するための手段と、前記チューブの端部付近に配置され、前記チューブと一体化されているブッシュと、前記第1コンデンサ極板と前記第2コンデンサ極板との間に電圧を供給し、コンデンサを充電し、前記チューブからコロナ放電を発生させるための手段と、を備えているレーザに使用される装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-166781
特開昭62-163381
特開平3-109784

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