特許
J-GLOBAL ID：200903078364126802
ペリクルフレーム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-260481
公開番号（公開出願番号）：特開2008-083166
出願日： 2006年09月26日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】ペリクル膜を貼りかえる際に生じるペリクルフレームとフォトマスクの剥離を円滑に行うためのペリクルフレームとペリクルフレーム剥離治具を提供する。【解決手段】ペリクルフレーム1は、ペリクル膜5が取着され枠状を呈し、ペリクルフレーム1が外方に臨む箇所にペリクルフレーム剥離治具を係合するための係合部10が形成されている。ペリクルフレーム1は、ペリクル膜5の厚さ方向と平行する方向の高さを有してこの高さ方向と直交する方向に延在しており、係合部10は、ペリクルフレーム1が外方に臨む箇所の延在方向に間隔をおいて複数設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ペリクル膜が取着され枠状を呈するペリクルフレームであって、
前記ペリクルフレームが外方に臨む箇所にペリクルフレーム剥離治具を係合するための係合部が形成されている、
ことを特徴とするペリクルフレーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 K
, H01L21/30 502P
