特許
J-GLOBAL ID:200903078499038377
複合素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
植本 雅治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-181156
公開番号(公開出願番号):特開2005-014141
出願日: 2003年06月25日
公開日(公表日): 2005年01月20日
要約:
【課題】簡便な方法によって濡れ性の高い領域と濡れ性の低い領域とを形成できて、より表面張力による効果を増大させることの可能な複合素子の製造方法を提供する。【解決手段】基盤11の凸部13上に、液体(接着剤)14を滴下する。滴下した液体14は、凸部13の表面を濡れ広がり、最終的に表面張力により半球状態で安定する。次に、被接合部材12を凸部13の表面の液体14と接触させる。その瞬間、液体14は部材12の表面を濡れ広がり、端部で止まる。この時、弱い吸引で保持されていた部材12が、基盤11の凸部13の形状に揃うように回転および移動する。その後、部材12を更に降下させて、完全に基盤11の凸部13と接触させる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基盤に被接合部材を接合して複合素子を形成する複合素子の製造方法であって、
基盤表面に被接合部材の接合面と相似な形状で濡れ性の高い領域を形成し、その周囲に低い領域を形成する工程と、
前記被接合部材の接合面に濡れ性の高い領域を形成し、その周囲に低い領域を形成する工程と、
前記基盤表面の濡れ性の高い領域と被接合部材の濡れ性の高い領域とを液体を介して接触させる工程と、
前記被接合部材を基盤に接触させ接合する工程と
を有していることを特徴とする複合素子の製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
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