特許
J-GLOBAL ID：200903078555036145
ポリッシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-205217
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029616
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【課題】 回転ドラムを用いたポリッシング装置の長所を活かしつつ、研磨時に衝撃、振動、騒音の生じない安定な研磨を行うことができるポリッシング装置を提供する。【解決手段】 研磨用パッド16を表面に取付けた回転可能なドラム3と、研磨対象物9が載置される台座と、ドラム3を研磨対象物9の表面に押し付ける押圧手段10と、ドラム3を回転させる手段と、ドラム3が研磨対象物9の研磨面の全域に当たるように台座11,12又はドラム3を動かす手段と、研磨用パッド16に砥粒を含んだ研磨液を供給する手段15とを備えたポリッシング装置において、研磨用パッド9の継ぎ目50をドラム3の軸に対して斜めに配置したものとする。
請求項（抜粋）：
研磨用パッドを表面に取付けた回転可能なドラムと、研磨対象物が載置される台座と、前記ドラムを前記研磨対象物の表面に押し付ける押圧手段と、前記ドラムを回転させる手段と、前記ドラムが前記研磨対象物の研磨面の全域に当たるように前記台座又はドラムを動かす手段と、前記研磨用パッドに砥粒を含んだ研磨液を供給する手段とを備えたポリッシング装置において、前記研磨用パッドの継ぎ目を前記ドラムの軸に対して斜めに配置したことを特徴とするポリッシング装置。
引用特許：
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