積層静電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石黒健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070545
公開番号（公開出願番号）：特開平6-284750
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】隣設する電極の対向面積を大きくして、大きな静電引力を得ることを可能にする。【構成】積層体3が、ガラス基板2上に、第1電極12および第1絶縁層13よりなる第1積層板9と、第2電極14および第2絶縁層15よりなる第2積層板10とが交互に所定の空隙11を持って積層されている。さらに、第1、第2立体配線部4、5により各第1、第2電極12、14同士を立体的に接続して、その周囲を伸縮自在のベローズ6により囲んだ。このような構成により、各第1、第2電極12、14間に電圧を印加すると、各第1、第2電極12、14間に静電引力が働き、各第1、第2電極12、14が板厚方向に縮み、逆に電圧の印加を止めると、ベローズ6の弾性力により各第1、第2電極12、14が板厚方向に伸びる。

請求項（抜粋）：

(a)絶縁層と電極を設けた複数の積層板を板厚方向に積層してなる積層体と、(b)前記複数の積層板の各々に板厚方向の引張力を与えて、前記複数の積層板の各々を所定の空隙を隔てて保持する可撓性の保持部と、(c)前記複数の積層板の板厚方向に隣設する各電極間に電圧をそれぞれ印加する配線部とを備えた積層静電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

門扉の自動閉鎖装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-158564 出願人：ダイハツデイーゼル株式会社, ダイハツデイーゼル機器株式会社

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