特許
J-GLOBAL ID：200903078592319734
両面ポリッシュ加工機とその定寸制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
天野 正景
, 貞重 和生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-050404
公開番号（公開出願番号）：特開2006-231471
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 本発明は、研磨布のゆっくりとした厚さ変化の影響を実質的に受けることなく定寸精度を長時間にわたり維持できる両面ポリッシュ加工機及び両面ポリッシュ加工機の定寸制御方法を提供することを課題とするものである。【解決手段】 本発明の両面ポリッシュ加工機においては、初回のワークの研磨については、研磨時間に基づいて研磨を終了させ、2回目以降のワークの研磨については、上記距離センサー22による距離の計測値に基づいて研磨を終了させるとともに、初回を含む各回の研磨の終了後に、ワークの仕上がり厚さの実測値とワークの仕上がり厚さの目標値に基づいて上記距離センサー22の計測値を補正する。補正は研磨の各回毎に行われるので、長時間にわたり定寸精度を維持することができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
機台に回転可能に支持され、上面に研磨布が貼り付けられた下定盤、
上記機台に回転可能に支持され、外歯を備えたサンギア、
上記機台に回転可能に支持され、内歯を備えたインターナルギア、
上記サンギアの外歯と上記インターナルギアの内歯とに噛合するための外歯、及び、ワークを納めるためのワーク保持孔を備えるとともに、上記下定盤上に載置されるキャリア、
下面に研磨布が貼り付けられており、上記キャリアの上記ワーク保持孔に納められたワークに対して、研磨圧を加えると共に、回転可能な上定盤、
上記下定盤、上記サンギア、上記インターナルギア、及び、上記上定盤を同一軸線上で回転駆動するため、単一あるいはそれぞれのための複数の駆動源を備えた駆動装置、
上記ワークと上記下定盤との研磨部、及び、上記ワークと上記上定盤との研磨部にスラリーを供給するためのスラリー供給装置、及び、
上記上定盤に形成された空所内に設けられており、上記キャリアの上表面までの距離を検出するための距離センサー
を備えた両面ポリッシュ加工機のための定寸制御方法であって、
初回のワークの研磨については、研磨時間に基づいて研磨を終了させ、2回目以降のワークの研磨については、上記距離センサーによる距離の計測値に基づいて研磨を終了させるとともに、初回を含む各回の研磨の終了後に、ワークの仕上がり厚さの実測値とワークの仕上がり厚さの目標値に基づいて上記距離センサーの計測値を補正すること
を特徴とする両面ポリッシュ加工機のための定寸制御方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B24B37/04 D
, B24B37/04 F
, B24B49/05
3C034AA08
, 3C034CA02
, 3C034CA13
, 3C034CB01
, 3C034CB14
, 3C034DD01
, 3C058AA07
, 3C058AA13
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BA07
, 3C058BA13
, 3C058BB00
, 3C058BB02
, 3C058BC02
, 3C058CB01
, 3C058DA06
, 3C058DA09
, 3C058DA17
出願人引用 (3件)
-
特公昭64-4126号公報
-
特公昭63-9943号公報
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自動定寸装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-021097
出願人：スピードファム株式会社
審査官引用 (2件)
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特開昭64-045568
-
自動定寸装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-021097
出願人：スピードファム株式会社
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