研磨布

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174051
公開番号（公開出願番号）：特開2001-001252
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、10オングストローム以下という高精度の研磨を安定して達成する優れた研磨布を提供せんとするものである。【解決手段】本発明の研磨布は、0.3dtex以下の極細繊維を含む研磨布であって、かつ、該研磨布表面の粗さが60μm以下であることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

0.3dtex以下の極細繊維を含む研磨布であって、かつ、該研磨布表面の粗さが60μm以下であることを特徴とする研磨布。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24D 11/00 , D04H 1/42

FI (3件)：

B24B 37/00 C , B24D 11/00 D , D04H 1/42 X

Fターム (25件)：

3C058AA09 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058CB10 , 3C063AA06 , 3C063AB05 , 3C063AB07 , 3C063BD08 , 3C063EE01 , 3C063EE10 , 3C063FF23 , 3C063FF30 , 4L047AA17 , 4L047AA21 , 4L047AA25 , 4L047AA27 , 4L047AB02 , 4L047AB08 , 4L047AB10 , 4L047BA03 , 4L047BA22 , 4L047BB09 , 4L047CB10 , 4L047CC14

引用特許：

審査官引用 (6件)

研磨クロスの表面評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-137670 出願人：信越半導体株式会社
研磨用布帛
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-246700 出願人：株式会社クラレ
磁気記録媒体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-348035 出願人：三菱化学株式会社

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