特許
J-GLOBAL ID:200903078608996235

導電性ボールの搭載装置および搭載方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-044976
公開番号(公開出願番号):特開平11-243103
出願日: 1998年02月26日
公開日(公表日): 1999年09月07日
要約:
【要約】【課題】 段取り替え時の作業上の安全性、操作性に優れた導電性ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。【解決手段】 供給部の導電性ボール28を吸着ヘッド21の吸着ツール23下面に形成された吸着孔27に真空吸着してピックアップしワークに搭載するようにした導電性ボールの搭載方法において、吸着ツール23を真空吸引手段34で昇降ブロック22に吸着保持している間にクランパ37による固定・固定解除を行う。これにより、品種切り替えのための吸着ツール23交換時に吸着ツール23の落下による作業者への危険や吸着ツール23の破損を防止することができる。また吸着ツール23の交換時に内部の真空度を圧力センサ42で検出し、所定値以下であれば報知部43により報知することにより、吸着ツール23の装着面への異物の介在による装着異常を検出することができる。
請求項(抜粋):
導電性ボールの供給部と、ワークの位置決め部と、導電性ボールを真空吸着する吸着孔が下面に形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドに上下動作を行わせる上下動手段と、前記吸着ヘッドを前記供給部と位置決め部の間を移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの昇降ブロックに着脱自在に装着された吸着ツールと、この吸着ツールを前記昇降ブロックに機械的に固定する固定手段と、前記吸着ツールの内部を真空吸引する真空吸引手段と、この真空吸引手段を制御する制御部と、制御部の制御操作を手動で行う操作部とを備え、前記真空吸引手段はその吸引力のみによって前記吸着ツールを昇降ブロックに吸着保持可能な吸引力を有し、この真空吸引手段で前記吸着ツールを吸着保持している間に前記固定手段によって前記吸着ツールの固定・固定解除を行って吸着ツールの前記昇降ブロックへの脱着を行うことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
IPC (4件):
H01L 21/60 ,  H01L 21/60 311 ,  B25J 15/06 ,  H01L 23/12
FI (5件):
H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 S ,  B25J 15/06 K ,  H01L 21/92 604 Z ,  H01L 23/12 L
引用特許:
審査官引用 (2件)

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