特許

J-GLOBAL ID：200903078614190595

有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置

発明者： 日南田 尚久
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-051703
公開番号（公開出願番号）：特開2009-211860
出願日： 2008年03月03日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：

【課題】異物によるスクリーン印刷室のステージでの吸着エラー、ステージの損傷、及び基体割れを防止すると共に、異物による有機エレクトロルミネッセンス装置の不具合を防止する。【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置は、電極とガスバリア層との間に介在する緩衝層を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置で、減圧雰囲気でスクリーン印刷を行うことにより緩衝層を形成する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置であって、ステージ86上に配置した基体36の上方にスクリーンメッシュ88を配置してスキージ92により塗布材料をパターン印刷するスクリーン印刷室70と、基体36の裏面に付着した異物を除去するクリーニング部94を有し、基体36をスクリーン印刷室70に搬送する基板搬送室74と、を含む。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

電極とガスバリア層との間に介在する緩衝層を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置で、減圧雰囲気でスクリーン印刷を行うことにより前記緩衝層を形成する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置であって、 ステージ上に配置した基体の上方にスクリーンメッシュを配置してスキージにより塗布材料をパターン印刷するスクリーン印刷室と、 前記基体の裏面に付着した異物を除去するクリーニング部を有し、前記基体を前記スクリーン印刷室に搬送する基板搬送室と、 を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置。

IPC (2件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (2件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (16件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107BB04 ,  3K107BB06 ,  3K107CC21 ,  3K107CC23 ,  3K107CC25 ,  3K107CC45 ,  3K107EE50 ,  3K107FF09 ,  3K107FF16 ,  3K107GG07 ,  3K107GG28 ,  3K107GG31 ,  3K107GG37

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体装置用テープキャリアの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-329138   出願人：日立電線株式会社