特許

J-GLOBAL ID：200903078647105585

電子デバイスの電位測定装置

発明者： 梅原 康敏
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256860
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109787
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 パッシベーション層を通しての高精度電位測定を可能にする。【構成】 この発明では、探針11を有するカンチレバー12にファンクション・ジェネレータ15より繰り返しの矩形波電圧が加えられる。被測定電子デバイス13の配線パターン17には可変電源14により或る電位が与えられている。探針11と被測定電子デバイス13との間に働くファン・デル・ワールスの力及び静電力により、探針11及びカンチレバー12は振動する。この振動の振幅は半導体レーザ装置31、反射鏡32及び2分割ホトディテクタ33で検出され、増幅器34で増幅された後、処理装置35でデータ処理されて測定箇所の電位が計算され、その電位がCRT36上に表示される。原子間力顕微鏡或いは光学顕微鏡を用いて、測定箇所の表面形状をCRT37に表示しても良い。

請求項（抜粋）：

被測定電子デバイスの被測定個所に直接対向させることができる探針を有するカンチレバーと、その探針と被測定電子デバイスとの間隔を振動的に変化させる加振手段と、上記探針の振動応答の特徴量を検出して、上記被測定個所近傍の電位と対応した出力を得る特徴量検出手段と、を具備する電子デバイスの電位測定装置。

IPC (3件)：

G01R 29/12 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-184201
  
• 電位分布測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162665   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開平4-184201