特許
J-GLOBAL ID：200903078682718050
プロセス監視方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
曾我 道照
, 曾我 道治
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096467
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303007
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】プロセスの運転条件の変更の影響を受けることなく、互いに相関がある複数のプロセスデータに基づいてプロセスの状態を的確に判定することができるプロセス監視方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、複数のプロセスデータを収集する工程4と、収集した複数のプロセスデータを運転条件の変更を直接的に表わす外部変数とそれ以外の変数である主変数とに区分けすると共に外部変数の主変数への影響を除去する工程7と、外部変数の主変数への影響を除去することにより得られた新たな変数を多変量統計解析により統計量に変換する工程8と、変換された統計量を予め設定されたしきい値と比較することによりプロセスの状態を判定する工程10とを有することを特徴とするプロセス監視方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数のプロセスデータを収集する工程と、
収集した複数のプロセスデータを運転条件の変更を直接的に表わす外部変数とそれ以外の変数である主変数とに区分けすると共に外部変数の主変数への影響を除去する工程と、
外部変数の主変数への影響を除去することにより得られた新たな変数を多変量統計解析により統計量に変換する工程と、
変換された統計量を予め設定されたしきい値と比較することによりプロセスの状態を判定する工程とを有することを特徴とするプロセス監視方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5H223AA01
, 5H223BB01
, 5H223CC01
, 5H223DD09
, 5H223EE06
