特許
J-GLOBAL ID：200903078697016419

振動ミラー、振動ミラーの振れ角制御方法、光書込装置及び画像形成装置

発明者：
佐藤 幸人

佐藤 幸人 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-224439
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069731
出願日： 2002年08月01日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】長期にわたって共振周波数を安定に制御できる振動ミラーを実現する。【解決手段】ミラー基板101は、一対のねじり梁102,103によって上フレーム(枠体)104に支持され、ねじり梁102,103を回転軸として往復振動する。ねじり梁102,103に近接した発熱部118〜129が上フレーム104と一体的に形成され、それら発熱部上に発熱素子としてのPd薄膜ヒータ122〜125が形成される。これらPd薄膜ヒータにより、ねじり梁を加熱し、その剛性を変化させることによってミラー基板の共振周波数を制御する。Pd薄膜ヒータは、ねじり振動による断線や劣化を生じないため、長期にわたって安定した共振周波数制御が可能である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一対のねじり梁により枠体に支持されたミラー基板が、前記ねじり梁を回転軸として往復振動する振動ミラーであって、 前記ねじり梁を加熱するための発熱素子が前記ねじり梁から離間して設けられたことを特徴とする振動ミラー。
IPC (3件)：
G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G03G15/04
FI (3件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  G03G15/04 111
Fターム (11件)：
2H045AB06 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB48 ,  2H045AB73 ,  2H076AB05 ,  2H076AB06 ,  2H076AB08 ,  2H076AB13 ,  2H076AB18 ,  2H076AB22
引用特許：
審査官引用 (6件)
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