特許

J-GLOBAL ID：200903078724352272

測定本体を光学的に走査するエンコーダ用の走査ユニット

発明者： ヴォルフガング・ホルツアプフェル ,  エルマール・マイヤー ,  ウルリッヒ・ベンナー
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (4件)： 江崎 光史 ,  三原 恒男 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-100790
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317503
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】測定本体を走査するために光照射法と光透過法で同一の検出器を使用することを実現する。【解決手段】エンコーダ用の走査ユニットは、測定本体方向に光を放出するための1つの光源,この測定本体によって変更された光を受信するための1つの検出器及びこの光によって走査された測定本体の領域の特定のパターンを検出器上に生成するためのこの検出器の前方に配置され多数の光学レンズを有する1つのレンズ配置を有し、レンズ配置3,4の横倍率が、零より大きくかつ1以下である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

-測定本体方向に光を放出するための1つの光源, -この測定本体によって変更された光を受信するための1つの検出器, -この光によって走査された測定本体の領域の特定のパターンを検出器上に生成するためのこの検出器の前方に配置され多数の光学レンズを有する1つのレンズ配置を有する測定本体を光学的に走査するエンコーダ用の走査ユニットにおいて、 レンズ配置(3,4)の横倍率(β)が、零より大きくかつ2以下であることを特徴とする走査ユニット。

IPC (3件)：

G01D5/36 ,  G01D5/34 ,  H01L31/12

FI (3件)：

G01D5/36 T ,  H01L31/12 E ,  G01D5/34 F

Fターム (26件)：

2F103BA44 ,  2F103CA02 ,  2F103CA03 ,  2F103DA01 ,  2F103DA04 ,  2F103DA11 ,  2F103DA12 ,  2F103EA15 ,  2F103EB06 ,  2F103EB14 ,  2F103EB28 ,  2F103EB32 ,  2F103EC01 ,  2F103EC03 ,  2F103EC04 ,  2F103EC11 ,  2F103EC16 ,  2F103EC17 ,  5F089BA03 ,  5F089BA10 ,  5F089BB02 ,  5F089BC02 ,  5F089BC23 ,  5F089BC24 ,  5F089BC25 ,  5F089GA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 測定スケールおよび測定システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-345754   出願人：レニショウパブリックリミテッドカンパニー
• レンズアレイユニットおよびこれを備えた光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-312918   出願人：ローム株式会社
• 特開昭60-201302