特許

J-GLOBAL ID：200903078730064815

感光性樹脂組成物

発明者： 木村 正志 ,  高橋 秀明
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-140785
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033963
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 アルカリ現像可能であり、光感度および解像性、保存安定性に優れ、かつ加熱硬化膜の機械物性に優れたネガ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)の構造単位を有するポリアミド酸誘導体、【化1】(B)放射線照射により酸を発生する化合物、および(c)酸の作用により上記(A)成分を架橋し得る化合物を含む感光性組成物を調製する。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリアミド酸誘導体:100重量部、【化1】(式中、R1は4価の芳香族基、R2は2価の芳香族基であり、nは1〜150の整数である。R3、R4はそれぞれ一価の有機基を示し、そのうち少なくとも30モル%以上が以下の構造式(2):【化2】で示される。但し、R5は水素原子および/または炭素数1〜6の有機基であり、mは1〜3の整数である。)(B)放射線照射により酸を発生する化合物:0.5〜20重量部、(C)酸の作用により上記一般式(1)で表される構造単位を有するポリアミド酸誘導体を架橋し得る化合物:3〜40重量部、を必須成分として含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/08 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/029

FI (7件)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/00 ,  C08L 79/08 Z ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/029

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-117270   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開平4-218051