特許
J-GLOBAL ID：200903055258743517

感光性組成物

発明者：
高橋 秀明

高橋 秀明 について

, 
横田 完一

横田 完一 について


出願人/特許権者：
旭化成工業株式会社

旭化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117270
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307393
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 アルカリ現像が可能で、かつ、感度、解像性に優れた感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)の構造単位を有するポリアミド酸誘導体、【化1】(B)放射線照射により酸を発生する化合物、及び(C)酸の作用により(A)のポリアミド酸誘導体を架橋し得る化合物を含有することを特徴とする感光性組成物を製造する。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される構造単位を有するポリアミド酸誘導体100重量部、【化1】(式中、R1:四価の有機基、R2:二価の有機基、R3、R4:一価の有機基又は水酸基を示し、そのうち少なくとも一方は芳香環に結合した水酸基1個以上を有する有機基を示す。)、(B)放射線照射により酸を発生する化合物0.5〜20重量部、(C)酸の作用により上記一般式(1)で表される構造単位を有するポリアミド酸誘導体を架橋し得る化合物3〜40重量部を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 A ,  C09D179/08 Z ,  G03F 7/004 503 Z ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (6件)
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