特許
J-GLOBAL ID:200903078757417663

信号供給装置およびその検査方法、並びにそれを用いた半導体装置、電気光学装置及び電子機器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井上 一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-178217
公開番号(公開出願番号):特開2001-356143
出願日: 2000年06月14日
公開日(公表日): 2001年12月26日
要約:
【要約】【課題】 入力電圧VINに対して複数のインピーダンス変換回路のそれぞれでインピーダンス変換を行なう装置において、その性能を検査する際、従来では個々のインピーダンス変換回路の各々の出力を測定し性能を検査していたため大変な時間がかかっていた。【解決手段】 信号供給装置10は、DAコンバータ12-1〜12-Nのそれぞれから供給される信号を、ボルテージフォロワ14-1〜14-Nのそれぞれによりインピーダンス変換し、出力O1〜ONとして供給する。この信号供給装置10において、検査モード時には、スイッチング素子26-1〜26-Nのそれぞれを切換え、出力検査ライン30によりボルテージフォロワ14-1〜14-Nのそれぞれの出力ラインを短絡する。そして、短絡することで測定された電流値と、所定の電流値とを比較して、信号供給装置10の良否のいずれかを判別する。
請求項(抜粋):
複数の信号供給源から供給される所定の電圧の信号の各々を、複数のインピーダンス変換手段によりインピーダンス変換し、複数の出力線の各々に供給する信号供給装置の検査方法において、検査時には、前記複数の出力線の各々を短絡し、この短絡線に検出される電流値と、所定の電流値とを比較して、前記信号供給装置の良否のいずれかを判別することを特徴とする検査方法。
IPC (4件):
G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822
FI (4件):
G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 27/04 T ,  H01L 27/04 M
Fターム (16件):
2G036AA19 ,  2G036AA24 ,  2G036BA30 ,  2G036BA39 ,  2G036CA10 ,  2H088EA02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088MA10 ,  2H088MA20 ,  5F038DF01 ,  5F038DF03 ,  5F038DT12 ,  5F038EZ20
引用特許:
審査官引用 (3件)

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