特許

J-GLOBAL ID：200903078758776420

ウエハ収納治具の検査方法および検査装置、ならびに半導体装置の製造方法

発明者： 徳永 謙二
出願人/特許権者： トレセンティテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-125562
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315197
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウエハの収納治具であるFOUPの気密性の劣化を検出することのできる技術を提供する。【解決手段】 FOUP検査装置14のキネマティックプレート15上に固定したFOUP1の内部を微陰圧に真空引きし、同時に圧力の変化を圧力計19によって測定する。またはトップフランジ4を引き上げてFOUP1を変形させた後にFOUP1の内部を微陰圧に真空引きし、同時に圧力の変化を圧力計19によって測定する。得られた真空引き時間と圧力との関係から、FOUP1のリークの有無を判断する。

請求項（抜粋）：

ウエハ収納治具の内部を陰圧にして、圧力の変化または前記ウエハ収納治具に保持された半導体ウエハ上の異物数を測定することにより、前記ウエハ収納治具の気密性を評価することを特徴とするウエハ収納治具の検査方法。

IPC (2件)：

G01M 3/02 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

G01M 3/02 Z ,  H01L 21/68 T

Fターム (23件)：

2G067AA44 ,  2G067BB02 ,  2G067BB03 ,  2G067BB04 ,  2G067DD02 ,  2G067DD27 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031JA22 ,  5F031JA43 ,  5F031MA23 ,  5F031MA33 ,  5F031NA02 ,  5F031NA11 ,  5F031NA20 ,  5F031PA02 ,  5F031PA18 ,  5F031PA24

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板の搬送システム及び基板の搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-347970   出願人：東京エレクトロン株式会社