特許
J-GLOBAL ID：200903078791645446

半導体ウエハ位置検出装置

発明者：
三浦 靖忠

三浦 靖忠 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-043435
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243129
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】本発明は、小型で安価なもので非接触で正確に半導体ウエハの中心位置を検出できる。【解決手段】半導体ウエハ1の周辺部に平行光束を照射する赤外発光LED11及びコリメートレンズ14、これら赤外発光LED11及びコリメートレンズ14の光軸上に配置されれ光量に応じたレベルの信号を出力するフォトダイオード12と、このフォトダイオード12の前段の平行光束光路中に配置され、位置決め中心点から検査対象となる半導体ウエハ1の半径を特定する位置に開口中心を有するスリット板16と、フォトダイオード12を半導体ウエハ周辺部1aの各所定位置に位置させたときのフォトダイオード12の出力レベルに基づいて半導体ウエハ1の少なくとも中心位置を求める演算機能24とを備えた。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハの少なくとも中心位置を検出する半導体ウエハ位置検出装置において、前記半導体ウエハの周辺部に平行光束を照射する投光手段及びこの投光手段の光軸上に配置されれ光量に応じたレベルの信号を出力する受光手段と、この受光手段の前段の平行光束光路中に配置され、位置決め中心点から検査対象となる前記半導体ウエハの半径を特定する位置に開口中心を有するスリットと、前記受光手段を前記半導体ウエハ周辺部の各所定位置に位置させたときの前記受光手段の出力レベルに基づいて前記半導体ウエハの少なくとも中心位置を求める演算手段と、を具備したことを特徴とする半導体ウエハ位置検出装置。
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM