特許
J-GLOBAL ID：200903078794551450
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008779
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218932
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【目的】 インクジェットヘッドの製造方法に関し、小型で構造が簡単で、かつ、信頼性が高く、加工精度を高くすることができる製造方法を提供する。【構成】 インクを噴射するノズル7と、ノズル7からインクの粒子を噴出させる圧力を発生する圧力室10と、圧力室10にインクを供給するインク供給路を有するインクジェットヘッドの製造方法において、ノズルを形成する材料としてシリコン単結晶基板2とガラス基板1を接合した接合基板4を用い、シリコン単結晶基板2とガラス基板1の選択エッチングを用いる。この際、シリコン単結晶基板2として(100)または(110)面を有するシリコン単結晶基板を用い、シリコン単結晶基板2とガラス基板1の接合に静電接合法を用い、シリコン単結晶基板2を異方性エッチングしてノズルを形成し、シリコン単結晶基板2とガラス基板1を相互にエッチング停止層にすることができる。
請求項（抜粋）：
インクを噴射するノズルと、該ノズルからインク粒子を噴射させるための圧力を発生する圧力室と、該圧力室にインクを供給するインク供給路を含むインクジェットヘッドの製造方法において、ノズルを形成する材料としてシリコン単結晶基板とガラス基板を接合した接合基板を用い、シリコン単結晶基板とガラス基板の選択エッチングを用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (4件)：
B41J 2/16
, B41J 2/135
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 N
, B41J 3/04 103 A
