磁気センサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-108187
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284518
出願日： 2005年04月05日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】超伝導量子干渉素子(SQUID)磁気センサ回路において、一定周波数の印加磁場に対する測定対象の応答を検出する場合、印加磁場の周波数が極めて小さい場合でも測定システム全体の感度が劣化せず、外部磁気雑音に強く取り扱いの簡便な高感度SQUID磁気センサを提供する。【解決手段】 SQUID磁気センサ回路を、一定周波数で振動する磁気信号検出回路5によって磁場を検出し、SQUID電圧計7に磁気結合させるように構成する。磁気信号は、振動検出回路5の振動周波数でロックイン検出することが可能となり、印加磁場周波数が超低周波領域にある場合でも、顕著な感度の劣化が生じない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

超伝導量子干渉素子(Superconducting QUantum Interference Device, SQUID)を用いた磁気センサにおいて、磁気信号入力回路に一定周波数で振動する検出回路を含むことを特徴とする磁気センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/035 , H01L 39/22

FI (2件)：

G01R33/035 , H01L39/22 D

Fターム (6件)：

2G017AA04 , 2G017AB07 , 2G017AD32 , 4M113AC06 , 4M113AC46 , 4M113AD03

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-269379
熱分析装置およびその計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-034077 出願人：株式会社リコー, 木村光照
特開平3-269379

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