特許
J-GLOBAL ID：200903078842858830
物理量測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牛久 健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082706
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258092
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【目的】 測定レンジを広くし,かつ精度を低下させない。【構成】 静電容量型圧力センサのセンサ容量Csにバイアス電圧を印加するための直流電源32が設けられる。センサ容量Csにバイアス電圧を印加しない状態,複数段階(または任意の)バイアス電圧を印加する状態の切り替えをマイクロコンピュータ20により行う。センサ容量Csにバイアス電圧を印加すると,可動電極のばね定数が変わる。これにより,レンジを広げることができる。
請求項（抜粋）：
与えられる物理量に応じて変位する可動電極と,可動電極に対向するように設けられた固定電極とを備えたセンサ素子,上記可動電極の変位量を検出する手段,バイアス電圧を発生する手段,上記バイアス電圧発生手段の発生したバイアス電圧の上記可動電極,固定電極間への印加を制御する手段,および上記バイアス電圧と検出手段による検出量とに基づいて物理量を計測する手段,を備えた物理量測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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