特許

J-GLOBAL ID：200903078846913151

超純水製造装置

発明者： 本村 敬人
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-333721
公開番号（公開出願番号）：特開2004-167308
出願日： 2002年11月18日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】金属濃度の極めて低い超純水を製造するための超純水製造装置を提供する。【解決手段】前処理システム1、一次純水製造装置10、二次純水製造装置20を有する一次純水製造装置において、二次純水製造装置20の熱交換器を一次純水製造装置10に移設する。二次純水製造装置20の各機器を合成樹脂製とするか又は合成樹脂ライニングを施す。ユースポイント40からの返送超純水の一部を一次純水製造装置10に返送して水温制御する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一次純水製造装置に通水して一次純水を製造し、この一次純水を二次純水製造装置に通水して超純水を製造する超純水製造装置において、 二次純水製造装置の接水部のすべて又は大部分は、非金属材料で構成されていることを特徴とする超純水製造装置。

IPC (5件)：

C02F1/00 ,  C02F1/32 ,  C02F1/44 ,  C02F1/72 ,  C02F9/00

FI (12件)：

C02F1/00 B ,  C02F1/32 ,  C02F1/44 J ,  C02F1/72 101 ,  C02F9/00 502D ,  C02F9/00 502E ,  C02F9/00 502N ,  C02F9/00 502P ,  C02F9/00 502R ,  C02F9/00 503B ,  C02F9/00 504B ,  C02F9/00 504E

Fターム (29件)：

4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006KA01 ,  4D006KA52 ,  4D006KA71 ,  4D006KB04 ,  4D006KB11 ,  4D006KB13 ,  4D006PB06 ,  4D006PC02 ,  4D006PC03 ,  4D006PC04 ,  4D037AA03 ,  4D037AB03 ,  4D037BA18 ,  4D037CA02 ,  4D037CA03 ,  4D037CA06 ,  4D037CA08 ,  4D037CA11 ,  4D037CA15 ,  4D050AA05 ,  4D050BB01 ,  4D050BD06 ,  4D050CA03 ,  4D050CA07 ,  4D050CA08 ,  4D050CA09 ,  4D050CA15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 純水製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-060721   出願人：栗田工業株式会社
• 特開平3-222898
  
• 特開昭60-261585