特許
J-GLOBAL ID：200903078866731149
マスフローコントローラ
出願人/特許権者：
株式会社エステック
株式会社エステック について
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-038803
公開番号（公開出願番号）：特開2004-246826
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】は簡単な構成でありながら、流量の制御が適正に行われているかどうかを確認しながら流量制御を行うことができるマスフローコントローラを提供する。【解決手段】流路2中を流れる流体の流れを制御する開閉制御弁4と、この開閉制御弁4の下流側に配置された圧力センサ7bと、この圧力センサ7bの下流側に配置された絞り部6と、前記流路2を流れる流体の流量F を測定する流量センサ5と、前記圧力センサ7bおよび流量センサ5の出力Spb,Sfを用いることで、開閉制御弁4を開閉制御して絞り部6 を流れる流体の流量F を制御すると共に、この流量F を監視する制御部8とを設けてなる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流路中を流れる流体の流れを制御する開閉制御弁と、
この開閉制御弁の下流側に配置された圧力センサと、
この圧力センサの下流側に配置された絞り部と、
前記流路を流れる流体の流量を測定する流量センサと、
前記圧力センサおよび流量センサの出力を用いることで、開閉制御弁を開閉制御して絞り部を流れる流体の流量を制御すると共に、この流量を監視する制御部とを設けてなることを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
Fターム (17件)：
2F030CC11
, 2F030CF05
, 2F030CF08
, 2F030CF09
, 2F035EA00
, 5H307AA01
, 5H307AA15
, 5H307BB01
, 5H307CC12
, 5H307DD01
, 5H307EE02
, 5H307FF06
, 5H307FF12
, 5H307GG01
, 5H307GG11
, 5H307HH04
, 5H307JJ01
引用特許：
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