特許
J-GLOBAL ID：200903087096588082

ガス供給制御装置

発明者：
須藤 良久

須藤 良久 について

, 
伊藤 稔

伊藤 稔 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065255
公開番号（公開出願番号）：特開2000-259255
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 絞り部を取り外さなくても絞り部の故障を検出することができ、絞り部の有効断面積の変化と絞り部の上流側圧力の変化に基づいて、精度よく流体流量を制御することができるコンパクトなガス供給制御装置を提供すること。【解決手段】 オリフィス33の上流側に熱式流量センサ36を配設し、オリフィス33を音速流で通過する材料ガスの流量Q’の変化を熱式流量センサ36により検出し、その材料ガスの流量Q’の変化から有効断面積の変化を検出する。
請求項（抜粋）：
流体を音速で連続して通過させる絞り部と、前記絞り部の上流側で流体圧力を検出する圧力センサと、前記絞り部の上流側で流体温度を検出する温度センサと、前記絞り部の圧力を調節する圧力制御バルブとを有し、前記圧力センサ及び温度センサの検出結果に基づいて前記圧力制御バルブを制御することにより、流体供給量を制御するガス供給制御装置において、前記絞り部を通過する流体の流量を検出することにより、前記絞り部の故障を検出する熱式流量センサを有することを特徴とするガス供給制御装置。
IPC (6件)：
G05D 7/06 ,  B01J 3/02 ,  B01J 4/02 ,  G01F 1/00 ,  G01F 1/68 ,  G05D 16/20
FI (6件)：
G05D 7/06 Z ,  B01J 3/02 K ,  B01J 4/02 A ,  G01F 1/00 X ,  G01F 1/68 ,  G05D 16/20 A
Fターム (44件)：
2F030CA04 ,  2F030CA10 ,  2F030CB04 ,  2F030CC11 ,  2F030CD17 ,  2F030CE02 ,  2F030CE04 ,  2F030CF05 ,  2F030CF07 ,  2F030CF08 ,  2F030CF11 ,  2F035EA08 ,  4G068AA02 ,  4G068AB02 ,  4G068AC05 ,  4G068AF03 ,  4G068AF06 ,  4G068AF36 ,  5H307AA20 ,  5H307BB01 ,  5H307DD01 ,  5H307DD06 ,  5H307DD20 ,  5H307EE02 ,  5H307EE08 ,  5H307FF03 ,  5H307FF06 ,  5H307FF09 ,  5H307FF12 ,  5H307FF15 ,  5H307GG15 ,  5H307HH04 ,  5H307JJ01 ,  5H307JJ10 ,  5H316AA20 ,  5H316BB01 ,  5H316DD01 ,  5H316DD20 ,  5H316EE02 ,  5H316EE09 ,  5H316FF01 ,  5H316FF22 ,  5H316FF23 ,  5H316HH04
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 圧力式流量制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-144722   出願人：株式会社フジキン
  • 動的ガス流コントローラ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-144979   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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