特許

J-GLOBAL ID：200903078875461634

ウエハボート

発明者： 野沢 辰雄 ,  北沢 厚男 ,  田部井 貴浩 ,  清野 勝 ,  渡部 義之
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-236769
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102446
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】この発明は、ウエハボートの溝付き棒とその両側の固定板との接合部分における熱応力、或いは横型ウエハボートにおけるウエハ積載用の溝棒とセンシング用棒との間に発生する熱応力を緩和して繰り返し熱処理に使用しても折損の恐れのないウエハボートを得ようとするものである。【構成】ウエハを載置する複数の溝付き棒と、この溝付き棒の各両端を固着する円板状の固定板を具備したウエハボートであって、ウエハを載置する溝付き棒がその上下部の太さを固定板に向けて次第に増大していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウエハを載置する複数の溝付き棒と、これらの溝付き棒の各両端を固着する円板状の固定板を具備したウエハボートであって、ウエハを載置する溝付き棒がその上下部でその太さを固定板に向けて次第に増大していることを特徴とするウエハボート。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68 ,  B65D 85/86

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウエハボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-139307   出願人：東芝セラミックス株式会社