特許
J-GLOBAL ID：200903078962718641
画像露光装置並びにミラーアレイデバイスおよび液晶パネル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136767
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292657
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、画素ズラシを行なっても、高鮮鋭度の画像を露光できるようにする。【解決手段】 画素ズラシを行なう、ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、ミラーアレイデバイス13の微小ミラー20の各々を、ミラーの相直交する並び方向X、Y双方について、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズとする。そして、上記方向X、Yについてのミラー配置ピッチをそれぞれa、bとし、該方向X、Yについての画素ズラシによる露光ドット増加倍数をそれぞれm、nとしたとき、各微小ミラー20の有効開口を、X方向においては1.5a/m以下の長さの連続領域のみに、Y方向においては1.5b/n以下の長さの連続領域のみにそれぞれ制限する光無反射性のマスク25を設ける。
請求項（抜粋）：
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、前記記録光を受ける位置において2次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、およびこれらの微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する方向と入射しない方向のいずれかに選択的に反射させるミラーアレイデバイスと、画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、前記複数の微小ミラーで反射した各記録光により形成された感光材料上の露光ドットと露光ドットの間に、さらにそれらの微小ミラーで反射した記録光による露光ドットを形成するように、ミラーアレイデバイスと感光材料との光学的関係を変化させる画素ズラシ手段とからなるミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、前記微小ミラーが、ミラーの2次元の並び方向それぞれについて、ミラー配置ピッチに十分近接したサイズに形成されるとともに、所定の画素ズラシ方向についてのミラー配置ピッチをaとし、該方向についての画素ズラシによる露光ドット増加倍数をmとしたとき、各微小ミラーの有効開口を、この画素ズラシ方向において1.5a/m以下の長さの連続領域のみに制限する光無反射性のマスクが設けられていることを特徴とするミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置。
IPC (3件)：
G03B 27/32
, G02B 26/08
, G02F 1/13 505
G03B 27/32 G
, G02B 26/08 E
, G02F 1/13 505
