特許

J-GLOBAL ID：200903078969365213

画像情報取得装置

発明者： 弓井 孝佳 ,  木村 憲明 ,  土井 恭二 ,  吉田 卓史
出願人/特許権者： 三井造船株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-292560
公開番号（公開出願番号）：特開2008-107286
出願日： 2006年10月27日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

【課題】レーザ光を測定対象物に照射し測定対象物からの反射光を受光することにより測定対象物の画像データを自動的に取得する装置であって、測定対象物の表面が光沢面であっても、正確かつ迅速に画像データを取得する。【解決手段】画像情報取得装置は、時間変調レーザ光を照射するレーザ光出射部と、測定対象物からの反射光を受光する光電変換器と、複数のマイクロミラーを有し、選択されたマイクロミラーの反射面を制御してレーザ光を光電変換器に導く空間変調素子と、光電変換器で受光されたレーザ光の位相ずれ情報を用いて測定対象物の3次元位置データ及び反射強度データを取得するデータ処理部と、各部分の動作を制御する制御器と、を有する。データ処理部で取得される反射強度データのレベルが所定の閾値を超える場合、ON状態にするマイクロミラーの反射面の個数を絞った反射パターンに調整して、再度計測を行う。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

レーザ光を測定対象物に照射し測定対象物からの反射光を受光することにより、測定対象物の画像データを取得する画像情報取得装置であって、 レーザ光の光強度を振幅変調信号に従って時間変調して測定対象物に照射するレーザ光出射部と、 測定対象物で反射したレーザ光を受光して電気信号に変換する光電変換器と、 測定対象物と前記光電変換器の受光面との間のレーザ光の光路上に設けられ、平面上に配列された複数のマイクロミラーを有する素子であり、測定対象物の画像を構成する各画素の画像データを取得するために、一画素に対して隣接する複数個のマイクロミラーの反射面を組として、この組の中の選択された個数分のマイクロミラーの反射面を所定の向きに制御してON状態にすることにより、このON状態のマイクロミラーで反射した測定対象物からの反射光を一画素分の反射光として前記光電変換器の受光面に導くマイクロミラーアレイ空間変調素子と、 前記ON状態のマイクロミラーで反射され前記光電変換器で受光されたレーザ光の電気信号における、前記振幅変調信号に対する位相ずれ情報を含む信号情報から前記位相ずれ情報を求め、この位相ずれ情報と前記ON状態のマイクロミラーの位置情報を用いて測定対象物の画像上の位置データを前記画像データとして求めるとともに、さらに、前記信号情報に含まれる測定対象物の反射強度データを前記画像データとして取得するデータ処理部と、 前記信号情報に含まれる反射強度データのレベルが所定の閾値を超える場合、この信号情報を取得するときの前記マイクロミラーの反射面の前記組に対して、前記ON状態にしたマイクロミラーの反射面の個数よりも少ない個数のマイクロミラーの反射面をON状態に調整するとともに、この調整後の前記マイクロミラーを用いて、前記光電変換器による受光を行うように、前記レーザ光出射部、前記マイクロミラーアレイ空間変調素子、前記光電変換器、及び前記データ処理部の動作を制御する制御器と、を有することを特徴とする画像情報取得装置。

IPC (4件)：

G01S 17/36 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G01S 17/89

FI (5件)：

G01S17/36 ,  G01B11/00 H ,  G01C3/06 120Q ,  G01C3/06 140 ,  G01S17/89

Fターム (59件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA51 ,  2F065FF13 ,  2F065GG06 ,  2F065GG14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065MM12 ,  2F065NN01 ,  2F065NN08 ,  2F065NN11 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ33 ,  2F112AD01 ,  2F112CA01 ,  2F112CA12 ,  2F112DA02 ,  2F112DA05 ,  2F112DA09 ,  2F112DA15 ,  2F112DA19 ,  2F112DA25 ,  2F112DA26 ,  2F112DA28 ,  2F112EA03 ,  2F112EA07 ,  2F112FA03 ,  2F112FA07 ,  2F112FA45 ,  2F112GA01 ,  5J084AA05 ,  5J084AA13 ,  5J084AD02 ,  5J084BA04 ,  5J084BA05 ,  5J084BA21 ,  5J084BA40 ,  5J084BB11 ,  5J084BB20 ,  5J084BB27 ,  5J084CA05 ,  5J084CA07 ,  5J084CA31 ,  5J084CA41 ,  5J084CA49 ,  5J084CA50 ,  5J084CA62 ,  5J084CA65 ,  5J084CA69 ,  5J084DA01 ,  5J084DA08 ,  5J084EA01 ,  5J084EA05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 3次元画像情報取得装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-060192   出願人：三井造船株式会社
• 観察装置、位置検出装置、露光装置、および露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-121244   出願人：株式会社ニコン