特許

J-GLOBAL ID：200903078974601952

研磨布の目立て装置

発明者： 井谷 直毅
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215460
公開番号（公開出願番号）：特開平10-044024
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】 目立て装置からの脱落がなく、被研磨材の表面を傷つけることなく研磨することができる目立て装置を提供する。【解決手段】 目立て装置3は、定盤1と平行に設置されているテーブル4と、テーブル4に設置された目立て部5と、テーブル4を保持する保持アーム6とで構成される。研磨布2と接触する目立て部5が、1カラット以上の単結晶ダイヤモンドを具備している。大きな粒径の単結晶ダイヤモンドを使用するのでテーブル4との接着性が良くなり、単結晶ダイヤモンドによって発泡ウレタン等の硬い研磨布に対して効率よく目立てができる。ダイヤモンドの脱落を防ぎ、被研磨材の表面を傷つけることなく研磨することができ、製品の歩留りを向上させる。

請求項（抜粋）：

研磨布の目立てを行う目立て装置において、前記研磨布と接触する目立て部が1カラット以上の単結晶ダイヤモンドを具備していることを特徴とする目立て装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 321 A ,  H01L 21/304 321 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-052275   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-091405   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平3-149182
  
• 特開平3-149182