特許

J-GLOBAL ID：200903078977716947

表面弾性波素子

発明者： 荒井 真次 ,  鎌田 真人 ,  中橋 昌子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-000371
公開番号（公開出願番号）：特開平5-183377
出願日： 1992年01月06日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】GHz帯などの極高周波領域で使用でき、高い安定性と信頼性を有する表面弾性波素子を提供する。【構成】ダイヤモンド層1と炭化けい素層2との接合体からなる基板の炭化けい素層2側に、櫛型電極層3、薄膜圧電体層4及び対向電極層5を形成した構造を有する。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド層と炭化けい素層との接合体からなる基板の炭化けい素層側に、金属電極層及び圧電体層を形成したことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-358410
  
• 表面弾性波素子用電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-211449   出願人：テイーデイーケイ株式会社
• 特開昭56-031213