特許
J-GLOBAL ID：200903078990338137

自己検知型SPMプローブ

発明者：
高橋 寛

高橋 寛 について

, 
白川部 喜春

白川部 喜春 について

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新井 正

新井 正 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165306
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357530
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 ピエゾ抵抗体を設けたカンチレバーから構成され且つ試料の表面電位を測定する際に、リーク電流の生じない自己検知型SPMプローブに代表される自己検知型SPMプローブを提供する。【解決手段】 前記探針12とその近傍に被膜した導電膜22と、前記探針12との間にも、酸化層17を積層して、導電膜22とピエゾ抵抗体20との間の絶縁度を高くした。
請求項（抜粋）：
先鋭化された探針を先端に設けたレバー部と、該レバー部を支持する支持部と、前記レバー部と前記支持部とを連結する屈曲部と、からなるカンチレバーと、このカンチレバー上に、前記屈曲部を通るU字状に前記カンチレバー上に設けたピエゾ抵抗体と、前記探針とその近傍に被膜した導電膜と、前記ピエゾ抵抗体および前記支持部上に形成した絶縁層と、前記導電膜の前記探針近傍において前記導電膜と電気的に接続し且つ前記レバー部から前記屈曲部を通って前記支持部に連なる導電層を形成した自己検知型SPMプローブにおいて、前記探針とその近傍に被膜した導電膜と、前記探針との間に、絶縁層を積層したことを特徴とする自己検知型SPMプローブ。
IPC (3件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G12B 21/08
FI (3件)：
G01N 13/16 C ,  G01B 21/30 ,  G12B 1/00 601 D
Fターム (5件)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069LL03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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