特許
J-GLOBAL ID：200903018962111418
自己検知型SPMプローブ及びSPM装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161175
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211736
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 ピエゾ抵抗体間のリーク電流や光が照射されて発生するキャリアの影響を排除して、カンチレバーの撓み量を適正に検出できるようにすること。【解決手段】 ピエゾ抵抗体22,24と半導体基板16とが接する面に、半導体基板16の導電型(p型シリコン基板)と逆の導電型(n- well領域)から成る不純物拡散層18,20を形成して絶縁による素子分離を行うことにより、ピエゾ抵抗体22及び24相互間、あるいはピエゾ抵抗体22と24との間におけるリーク電流や光が照射されて発生するキャリアの影響を排除することができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板表面にピエゾ抵抗体がU字状に配置されたSPM プローブを用いた自己検知型SPM プローブにおいて、前記U字状のピエゾ抵抗体が対向する前記半導体基板間を絶縁処理して素子分離を行うことを特徴とする自己検知型SPM プローブ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 X
