特許
J-GLOBAL ID：200903078992428869

液体処理装置、それを用いた滅菌装置、それを用いた洗浄処理方法、表面処理方法および滅菌方法

発明者：
大政 龍晋

大政 龍晋 について


出願人/特許権者：
日本テクノ株式会社

日本テクノ株式会社 について


代理人 (1件)： 友松 英爾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-213533
公開番号（公開出願番号）：特開2001-271189
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：
【要約】【課題】 半導体のような微細な孔をもつ小さな物品と液体、たとえば洗浄液や無電解めっき液を充分接触させるための液体処理装置、それを用いた滅菌装置、それを用いた洗浄処理方法、表面処理方法および滅菌方法の提供。【解決手段】 (A)液体処理槽1、(B)振動モーター2、振動モーターの振動数を調整するためのインバーター、振動モーターに接続した振動棒3、振動棒に固定した振動羽根4を有する振動撹拌機構、(C)液体処理される物品を収納する多孔性回転可能な容器11および、(D)前記(C)の多孔性回転可能な容器を、(イ)液体中において500r.p.m未満の低速で回転軸を垂直とした回転をさせるための低速仕様インバーターと(ロ)排液後に500r.p.m以上の高速で回転軸を垂直とした回転をさせて処理液を遠心分離するための高速仕様インバーターとに切換可能な形で接続している回転モーター12、を有することを特徴とする物品の液体処理装置、それを用いた滅菌装置、それを用いた洗浄処理方法、表面処理方法および滅菌方法。
請求項（抜粋）：
(A)液体処理槽、(B)振動モーター、振動モーターの振動数を調整するためのインバーター、振動モーターに接続した振動棒、振動棒に固定した振動羽根を有する振動撹拌機構、(C)液体処理される物品を収納する多孔性回転可能な容器および、(D)前記(C)の多孔性回転可能な容器を、(イ)液体中において500r.p.m未満の低速で回転軸を垂直とした回転をさせるための低速仕様インバーターと(ロ)排液後に500r.p.m以上の高速で回転軸を垂直とした回転をさせて処理液を遠心分離するための高速仕様インバーターとに切換可能な形で接続している回転モーター、を有することを特徴とする液体処理装置。
IPC (8件)：
C23G 3/00 ,  B08B 3/10 ,  C23C 18/16 ,  C23C 22/73 ,  C23F 1/08 101 ,  C25D 17/00 ,  C25D 21/10 ,  H01L 21/304 651
FI (9件)：
C23G 3/00 Z ,  B08B 3/10 A ,  B08B 3/10 Z ,  C23C 18/16 C ,  C23C 22/73 A ,  C23F 1/08 101 ,  C25D 17/00 E ,  C25D 21/10 ,  H01L 21/304 651 A
Fターム (31件)：
3B201AA46 ,  3B201AB33 ,  3B201AB45 ,  3B201BB02 ,  3B201BB87 ,  3B201BB92 ,  3B201BC05 ,  3B201CB12 ,  3B201CC13 ,  4K022CA03 ,  4K022DB14 ,  4K022DB17 ,  4K022EA02 ,  4K026DA03 ,  4K026DA05 ,  4K026DA10 ,  4K026DA11 ,  4K026EA08 ,  4K053RA08 ,  4K053RA19 ,  4K053TA13 ,  4K053TA16 ,  4K053TA18 ,  4K053TA19 ,  4K053XA09 ,  4K053XA26 ,  4K053XA45 ,  4K057WM01 ,  4K057WM03 ,  4K057WM13 ,  4K057WM20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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