特許
J-GLOBAL ID:200903078997229228
塗布状態の検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
久保 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-285625
公開番号(公開出願番号):特開平8-141487
出願日: 1994年11月18日
公開日(公表日): 1996年06月04日
要約:
【要約】【目的】塗布剤の塗布状態を正確に検査することのできる検査装置を提供することを目的とする。【構成】蛍光物質が混合された塗布剤の塗布状態を検査するための装置1であって、塗布剤に紫外線を照射するための高圧水銀灯3、高圧水銀灯3を高周波駆動によって点灯させるために所定の周期で正方向及び負方向に交互に繰り返される矩形状波形の高周波電力を出力するランプ駆動回路12、高圧水銀灯3の照射により塗布剤が発する蛍光を受光し受光量に応じた受光信号を出力する受光素子31、及び受光信号に含まれる交流成分を高周波電力の波形と同期して検出するための同期整流回路32を有して構成される。
請求項(抜粋):
蛍光物質が混合された塗布剤の塗布状態を検査するための装置であって、前記塗布剤に紫外線を照射するための放電灯と、前記放電灯を高周波駆動によって点灯させるために、所定の周期で正方向及び負方向に交互に繰り返される矩形状波形の高周波電力を出力するランプ駆動部と、前記放電灯の照射により前記塗布剤が発する蛍光を受光し、受光量に応じた受光信号を出力する受光素子と、前記受光信号に基づいて、前記受光信号に含まれる交流成分を前記高周波電力の波形と同期して検出するための同期整流回路と、を有してなることを特徴とする塗布状態の検査装置。
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開昭63-258668
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特開昭63-193046
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特開平4-034348
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特開平2-110354
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欠陥検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-233820
出願人:株式会社ニコン
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