特許

J-GLOBAL ID：200903079003440304

洗浄装置

発明者： 宮腰 伸一
出願人/特許権者： 島田理化工業株式会社
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-139516
公開番号（公開出願番号）：特開平9-299889
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【課題】洗浄用の液体と気体との粉末状混合物やパーティクルの遠距離の飛散や舞い上がりを防止するとともに、最もパーティクル剥離率の高い90度のノズル角度を採用した際における被洗浄物表面へのパーティクルの再付着を防止する。【解決手段】被洗浄物10の表面に付着したパーティクルを、被洗浄物10から除去するための洗浄装置において、被洗浄物10に対して洗浄用材料を噴射するノズル18と、所定の間隙を有してノズル18を取り囲む外郭部材34とを有する。

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面に付着した付着物を、前記被洗浄物から除去するための洗浄装置において、被洗浄物に対して洗浄用材料を噴射するノズルと、所定の間隙を有して前記ノズルを取り囲む外郭部材とを有することを特徴とする洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/02 ,  B08B 5/02 ,  B08B 15/02 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

B08B 3/02 B ,  B08B 5/02 A ,  B08B 15/02 ,  H01L 21/304 341 N

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ウエハ洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-298345   出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社