特許
J-GLOBAL ID：200903079047450005

光反射素子、光反射装置、波面曲率変調装置及び光走査型表示装置

発明者：
西川 恭生

西川 恭生 について

, 
浅井 伸明

浅井 伸明 について


出願人/特許権者：
ブラザー工業株式会社

ブラザー工業株式会社 について


代理人 (1件)： 間瀬 ▲けい▼一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-076277
公開番号（公開出願番号）：特開2006-259196
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】 入射する光を反射する研磨面を有してなる薄板状弾性部を、上記研磨面とは反対側にて起歪素子によりその起歪作用のもとに変形させる構成のもと、上記研磨面で反射した光をその反射方向に円滑に進行させるようにした光反射装置、波面曲率変調装置及び走査型表示装置を提供する。【解決手段】 シリコン基板からなる基板10は凹所12を備えており、この凹所12は基板10にその裏面13側からエッチングにより形成されている。これに伴い、基板10には、変形可能な薄板状弾性部14が表面11と凹所12の底面12aとの間に形成されている。起歪素子20は基板10の凹所12内にてその底面12aに設けられており、この起歪素子20は、その起歪作用により、基板10を薄板状弾性部14にて湾曲変形させる。この湾曲変形のもと、薄板状弾性部14の表面である研磨面に入射する画像光は当該研磨面にて反射される。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
弾性材料からなる板状弾性部及びこの板状弾性部を支持する支持部を有する基体と、起歪素子とを備えて、 前記板状弾性部は、その両面の一方の面の少なくとも一部にて鏡面を構成しており、 前記支持部は、前記板状弾性部にその他方の面側にて凹所を形成するように設けられて前記板状弾性部を支持しており、 前記起歪素子は、前記凹所内にて前記板状弾性部の前記他方の面に当該板状弾性部を変形可能に設けられている光反射素子。
IPC (7件)：
G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/10 ,  G02B 27/02 ,  H01L 41/12 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09
FI (8件)：
G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  G02B26/10 Z ,  G02B27/02 Z ,  H01L41/12 ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J
Fターム (11件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AB38 ,  2H041AC04 ,  2H041AC07 ,  2H041AC08 ,  2H045AA01 ,  2H045AB01 ,  2H045BA13 ,  2H045BA24 ,  2H045DA31
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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