特許
J-GLOBAL ID：200903079066100767

金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法

発明者：
櫻林 靖哲

櫻林 靖哲 について

, 
島▲崎▼ ▲龍▼司

島▲崎▼ ▲龍▼司 について


出願人/特許権者：
トヨタ自動車株式会社

トヨタ自動車株式会社 について


代理人 (4件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-086729
公開番号（公開出願番号）：特開2005-272921
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 従来のμmオーダーの精度限界を超えた高い精度で、基材の材質や形状を限定することなく、種々の金属の炭化物被膜を形成できる金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法を提供する。【解決手段】 真空容器内に、基材、フラーレン、金属酸化物を配置する工程、真空容器内を真空に維持し、かつフラーレンの昇華温度以上かつ金属酸化物の昇華温度未満に加熱することにより、昇華したフラーレン分子を基材表面に吸着させるフラーレン昇華・吸着工程、および真空容器内を金属酸化物の昇華温度以上に加熱することにより、昇華した金属酸化物分子を基材表面に吸着しているフラーレン分子に反応させ、基材表面のフラーレン分子吸着領域に金属炭化物微細粒子から成る被膜を生成させる金属酸化物昇華・反応工程を含むことを特徴とする金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下記の工程: 真空容器内に、基材、フラーレン、金属酸化物を配置する工程、 真空容器内を真空に維持し、かつフラーレンの昇華温度以上かつ金属酸化物の昇華温度未満に加熱することにより、昇華したフラーレン分子を基材表面に吸着させるフラーレン昇華・吸着工程、および 真空容器内を金属酸化物の昇華温度以上に加熱することにより、昇華した金属酸化物分子を基材表面に吸着しているフラーレン分子に反応させ、基材表面のフラーレン分子吸着領域に金属炭化物微細粒子から成る被膜を生成させる金属酸化物昇華・反応工程、 を含むことを特徴とする金属炭化物微細粒子による被膜の形成方法。
IPC (4件)：
C23C14/06 ,  B82B3/00 ,  C01B31/34 ,  C23C14/24
FI (4件)：
C23C14/06 B ,  B82B3/00 ,  C01B31/34 ,  C23C14/24 S
Fターム (38件)：
4C097AA03 ,  4C097BB01 ,  4C097CC03 ,  4C097CC14 ,  4C097EE01 ,  4C097EE20 ,  4C097MM04 ,  4C097MM08 ,  4C097SC03 ,  4G146MA08 ,  4G146MB03 ,  4G146MB21 ,  4G146NA05 ,  4G146NA12 ,  4G146NA24 ,  4G146NB07 ,  4G146NB08 ,  4G146NB09 ,  4G146NB12 ,  4G146NB15 ,  4G146PA12 ,  4G146PA17 ,  4K029AA04 ,  4K029AA21 ,  4K029BA34 ,  4K029BA43 ,  4K029BB01 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029BC02 ,  4K029CA01 ,  4K029DB01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB11 ,  4K029DB17 ,  4K029EA08 ,  4K029FA05 ,  4K029GA01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
  • 特公昭63-048164
引用文献：
審査官引用 (1件)

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