特許
J-GLOBAL ID：200903079066382061

成形方法および装置

発明者：
住谷 敬志

住谷 敬志 について

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猿丸 正悟

猿丸 正悟 について

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北側 光博

北側 光博 について

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吉田 栄治

吉田 栄治 について

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掛林 康典

掛林 康典 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (2件)： 安田 敏雄 ,  安田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-375338
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180178
出願日： 2005年12月27日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】金型を被成形物に押しつけて行う成型処理において、金型と被成形物との平行を維持しながら押しつけ量を精密に制御する。【解決手段】大変位アクチュエータにより型27を被成形物Wに押しつける押しつけ動作を行わせ、押しつけ動作が所定の要件を満たしたら押しつけ動作を停止し、押しつけ動作の結果型に生じた反力を3カ所以上の異なる点で測定し、測定した反力のすべてが略同一になるように大変位アクチュエータと型との間に設けられた3基以上の変位の制御範囲が小さな小変位アクチュエータ11に押しつけ動作をさせ、3つ以上の距離測定手段2により型と被成形物との距離を測定してそれぞれを初期距離Lsとして記憶し、距離測定手段が測定した距離と初期距離との差が設定値以上になるまでそれぞれの小変位アクチュエータに押しつけ動作をさせる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
型を被成形物に押しつけて、前記型に形成された凹凸を前記被成形物に転写する成形方法であって、 大変位アクチュエータにより前記型に押しつけ動作を行わせ、 前記押しつけ動作が所定の要件を満たしたら前記大変位アクチュエータの押しつけ動作を停止し、 前記押しつけ動作の結果前記型に生じた反力または前記型を支持する部材に生じた反力を押しつけ方向に直交する方向における3カ所以上の異なる場所で測定し、 前記大変位アクチュエータと前記型との間に設けられ前記大変位アクチュエータよりも小さな変位の制御が可能な並列に配置された3基以上の小変位アクチュエータに対して測定した前記反力のすべてが略同一になるように押しつけ動作をさせ、 前記型または前記型を支持する部材と前記被成形物または前記被成形物を支持する部材との距離を距離測定手段により3カ所以上の異なる場所で測定してそれぞれを初期距離として記憶し、 前記距離測定手段が測定した距離と前記初期距離との差が設定値以上になるまでそれぞれの前記小変位アクチュエータに押しつけ動作をさせる ことを特徴とする成形方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B81C 5/00
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  B81C5/00
Fターム (11件)：
4F209AH73 ,  4F209AP02 ,  4F209AP06 ,  4F209AR02 ,  4F209AR07 ,  4F209PA01 ,  4F209PB01 ,  4F209PN13 ,  5F046AA25 ,  5F046AA28 ,  5F046DA30
引用特許：
出願人引用 (3件)

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