特許

J-GLOBAL ID：200903079083392623

光学特性計測装置及び露光装置

発明者： 中村 綾子 ,  藤井 透
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-294557
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108465
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】 計測装置を移動することなく、かつ多数の画素を備えた撮像素子を用いることなく、光学系の光学特性(結像性能等)を計測する。【解決手段】 被検光学系を通過して開口板32を通過した光束をコリメートするコリメートレンズ33と、その光束をそれぞれ集光する複数の微小レンズ34aの集合体であるマイクロレンズアレイ34と、マイクロレンズアレイ34の後側焦点面に配置されてそれぞれ角度可変の微小なミラー35(i,j)の集合体であるマイクロミラーアレイ35と、マイクロミラーアレイ35で走査された光束を光電検出器に導く光ガイド37とを有する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置において、 前記被検光学系を通過した光束を互いに異なる複数の領域を通る複数の部分光束に分割し、該複数の部分光束を時間的に逐次選択する光束分割素子と、 前記光束分割素子で逐次選択される前記部分光束を一つの受光部を介して検出する検出器と、 前記検出器で検出される情報に基づいて前記被検光学系の光学特性を求める演算装置とを備えたことを特徴とする光学特性計測装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 516C ,  G03F7/20 501

Fターム (7件)：

2H097BB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2H097LA20 ,  5F046BA03 ,  5F046DA12 ,  5F046DB05

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 結像性能の評価方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-293205   出願人：株式会社ニコン
• 光学特性測定方法及び光学特性測定装置、光学系の調整方法、並びに露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-013853   出願人：株式会社ニコン